1.16B雙拋機

創技16B雙拋機臺，適用于模擬產線藍寶石、不銹鋼、玻璃等的雙面拋光批量測試。

2.36單面拋光機

創技36寸單面拋機臺，適用于模擬產線藍寶石、不銹鋼、玻璃等的單面拋光批量測試。

3.32單面拋光機

創技32寸單面拋機臺，適用于模擬產線藍寶石、不銹鋼、玻璃等的單面拋光批量測試。

4.粘度計

粘度計，型號DV-II+Pro，美國Brookfied公司生產，規格0.01mPa.S。

5.CP4摩擦磨損試驗機

   摩擦磨損試驗機，美國布魯克公司，可定量測試壓力、轉速、拋光液流量等對化學機械拋光性能的影響，用于實驗室測定拋光液的拋光性能。

6.AFM

原子力掃描隧道顯微鏡，用于測試物體表面的粗糙度等。

7.DLS

激光粒度分析儀，美國PSS公司，型號 Nicomp 380，規格0.1nm。用于測試納米粉體材料的粒徑。

8.金相顯微鏡

金相顯微鏡，奧林巴斯，型號MX61，用于觀察物體表面狀態。

9.ICP

電感耦合等離子體發射光譜儀，美國，型號710-ES，精度0.02ppb。

10. 離子色譜

離子色譜，賽默飛有限公司，型號710-ES，精度0.02ppb。

11.TOC

總有機碳測試儀，德國，型號TOC2100，量程0-30000ppm。

12. 傅里葉變換紅外光譜儀

傅里葉變換紅外光譜儀，型號Nicolet，用于測試有機官能團結構。

13.Tg

熱重分析儀，型號RZY-1。

15.光學膜厚測試儀

型號：Filmetrics F-50-EXR，岱美有限公司。

16.接觸角測量儀

接觸角測量儀，型號：OCA30